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“高性能氧化锌基磁控溅射靶材生产技术”项目通过新产品新技术成果鉴定

2012年12月12日,中科院宁波材料所所属新能源技术研究所完成的“高性能氧化锌基磁控溅射靶材生产技术”项目通过了新产品新技术成果鉴定。

中科院院士褚君浩以及来自浙江大学、上海交通大学等研究院所和企业的7名鉴定专家考察了项目生产现场,听取课题组负责人的工作报告、技术报告、产品检测报告、科技查新报告、用户意见报告等,在审查相关资料和现场考察后,一致认为该项目有重要创新,技术达到国际先进水平,同意通过鉴定。

“高性能氧化锌基磁控溅射靶材生产技术”项目可以为国内外相关下游企业批量提供优质氧化锌基溅射靶材,在平板显示、薄膜太阳能电池、半导体器件、建筑用Low-e玻璃以及汽车镀膜玻璃等光电信息行业内具有重要的应用,市场前景广阔。研究团队5年研发,打通了一条从原料纳米粉体的可控合成到大尺寸靶材成型与致密烧结的综合应用技术路线,产品技术拥有4项授权发明专利,形成核心知识产权,已具备产业化生产条件。

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