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AZO靶材

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产品详情

应用领域:节能玻璃、智能玻璃、薄膜太阳能电池

性能

参数 典型数值
生产工艺 粉末冶金方法成型,多个靶管/靶块拼接贴合为AZO靶材成品。
主要成分 98wt%ZnO + 2wt%Al2O3 (注:根据客户的需求,可提供Al2O3掺杂量在0.06~3wt%的AZO靶材)
纯度 >99.95wt%
密度 >5.52 g/cm3
电阻率 ≤ 3×10-3 ?·cm
金属杂质含量 Fe ≤50ppm, Si ≤80ppm, Na ≤20ppm, Pb ≤30ppm, others ≤50ppm.
Total ≤500ppm
靶材尺寸 平面靶
(50~300mm)L×(50~250mm)W×(4~15mm)H
旋转靶
(133~138mm)ID×(151~169mm)OD×(150~260mm)H
绑定焊接率 >95%
产品特点:高致密度;溅射表面光滑;含氧量充足,无需通氧溅射

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彩29