陶瓷靶材
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ITO靶材

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产品详情

应用领域:触摸屏、显示器、薄膜光伏、智能玻璃

性能

参数 典型数值
生产工艺 粉末冶金方法成型,多个靶管/靶块拼接贴合为靶材成品。
主要成分 90wt% In2O3 + 10wt% SnO2
纯度 >99.99wt%
密度 ≥7.13g/cm3
电阻率 <2×10-4 ?·cm
金属杂质含量 Si ≤10ppm, Fe ≤5ppm, Na ≤5ppm, Ca ≤5ppm, Pb ≤2ppm, Cd ≤5ppm.
Total ≤100ppm
靶材尺寸 Maximal OD: 145~150mm,Length: 3000mm,Maximal single segment length: 250mm。
绑定焊接率 >95%

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