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NbOx靶材

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产品详情

应用领域:触摸屏、显示器、光学玻璃

性能

参数 典型数值
生产工艺 等离子热喷涂
主要成分 NbOx(x=4.7-4.9)
纯度 >99.9wt%
密度 ≥4.7g/cm3?
电阻率 <2×10-4 ?·cm
金属杂质含量 Fe≤100ppm Ca≤150ppm, Cu≤20ppm, Ta≤150ppm, Cr≤10ppm, Zr≤100ppm.
Total≤1000ppm
靶材尺寸 Maximal OD: 151mm,Length: 4000mm。

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