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TiOx靶材

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产品详情

应用领域:触摸屏、显示器、光学玻璃

性能

参数 典型数值
生产工艺 等离子热喷涂
主要成分 TiOx(x=1.7-1.9)
纯度 >99.2wt%
密度 ≥3.6g/cm3
电阻率 <1×10-3 ?·cm
金属杂质含量 Fe≤350ppm, Cu≤350ppm, Cr≤500ppm, Al≤350ppm, Ca≤500ppm, Zr≤1000ppm.
Total≤8000ppm
靶材尺寸 Maximal OD: 151mm,Length: 4000mm。

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