金属靶材
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Si旋转靶材

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产品详情

应用领域:触摸屏、显示器、薄膜太阳能

性能

参数 典型数值
生产工艺 等离子热喷涂
主要成分 Si
纯度 >99.99wt%
密度 ≥2.2g/cm3
电阻率 <40 ?·cm
金属杂质含量 Fe≤100ppm, Cu≤10ppm, Al≤20ppm.
Total≤100ppm
气体杂质含量 O≤2500ppm, N≤500ppm
靶材尺寸 Maximal OD: 151mm,Length: 4000mm。

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